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深圳市深國安電子科技有限...

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深國安在線式三氟化氮(NF?)氣體檢測儀/進口紅外原理(高精度)

閱讀:31      發(fā)布時間:2025-6-19
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深國安SGA-501-NF3-SM-Q在線式三氟化氮氣體檢測儀:以紅外科技守護工業(yè)安全的“智能哨兵"

在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)及電子工業(yè)高速發(fā)展的今天,三氟化氮(NF?)作為關(guān)鍵的電子特氣,被廣泛應(yīng)用于等離子蝕刻、硅片清洗等核心工藝。然而,其強氧化性、低毒性及溫室效應(yīng)特性(在大氣中可穩(wěn)定存在約550年),對生產(chǎn)安全與環(huán)境監(jiān)測提出了嚴苛要求。深國安電子深耕氣體檢測領(lǐng)域十余載,精準契合行業(yè)需求,推出SGA-501-NF3-SM-Q在線式三氟化氮氣體檢測儀,以進口紅外線原理為核心,為工業(yè)場景構(gòu)建起“實時、精準、智能"的安全防線。

三氟化氮檢測儀(紅外原理).png


核心技術(shù):進口紅外傳感,定義工業(yè)級精度標干

SGA-501-NF3-SM-Q采用國際一線的紅外線氣體傳感器,依托非分散紅外吸收法/NDIR原理,對三氟化氮分子的特征進行高靈敏度識別,實現(xiàn)24小時連續(xù)在線監(jiān)測。相較于傳統(tǒng)檢測技術(shù),其優(yōu)勢顯著:

  • 高精度與穩(wěn)定性:全量程溫濕度補償+智能運算算法,確保在高溫(支持800℃環(huán)境采樣)、高濕(99%RH)、高塵(過濾1μm以上顆粒物)等復(fù)雜工況下,測量誤差仍≤±3%FS,長期使用無漂移;

  • 快速響應(yīng)與抗干擾:32位納米級微處理器+24位超高ADC采集芯片,信號處理速度提升50%,可快速捕捉0.1ppm級微小泄漏,同時抗電磁干擾能力強,適配強磁、高靜電等嚴苛環(huán)境;

  • 多場景兼容:適配半導(dǎo)體潔凈車間、氣體儲存罐區(qū)、光伏硅片處理線等不同場景需求。


智能防護:從監(jiān)測到聯(lián)動,構(gòu)建安全閉環(huán)

深國安SGA-501-NF3-SM-Q不僅是“監(jiān)測者",更是“守護者",通過多重智能設(shè)計將風(fēng)險消滅于萌芽:

  • 可視化預(yù)警:2.4英寸高清液晶彩屏實時顯示氣體濃度(PPM/mg/m3雙單位切換)、溫濕度及設(shè)備狀態(tài),超標時同步觸發(fā)85dB聲光報警(紅/黃/綠三色指示燈直觀區(qū)分正常/預(yù)警/危險狀態(tài));

  • 聯(lián)動處置:內(nèi)置2組無源觸點繼電器,支持與風(fēng)機、切斷閥、噴淋系統(tǒng)等設(shè)備聯(lián)動,濃度超標時自動啟動排風(fēng)或關(guān)閉氣源,實現(xiàn)“監(jiān)測-報警-處置"一體化;

  • 遠程管理:支持4-20mA、RS485有線信號及WIFI/GPRS無線傳輸,數(shù)據(jù)可實時上傳至深國安物聯(lián)網(wǎng)平臺,通過PC端或手機APP遠程查看、存儲(支持10萬條數(shù)據(jù))及導(dǎo)出,異常時微信/短信/郵件多渠道推送,真正實現(xiàn)“掌上安全"。


安全認證:資質(zhì)齊全,工業(yè)場景的“安心之選"

深國安始終以“工業(yè)級安全"為研發(fā)底線,SGA-501-NF3-SM-Q嚴格符合GB50493-2009《石油化工可燃氣體和有毒氣體檢測報警設(shè)計規(guī)范》,并通過多項認證:

  • 防爆認證:ExdⅡCT6 Gb防爆等級,可直接安裝于1區(qū)、2區(qū)危險場所;

  • 防護認證:IP67級防護,鋁合金鑄體外殼+納米涂層,防腐蝕、抗震動,戶外長期使用無損耗;

  • 國際認可:獲歐盟CE、ROHS雙認證,產(chǎn)品遠銷新加坡、馬來西亞等20+國家與地區(qū),品質(zhì)經(jīng)全球工業(yè)場景驗證。

三氟化氮檢測儀(紅外原理).jpg


應(yīng)用場景:覆蓋電子特氣全生命周期,守護每一寸安全

從三氟化氮的生產(chǎn)、儲存到使用,SGA-501-NF3-SM-Q的身影貫穿全鏈條:

  • 半導(dǎo)體制造:在晶圓蝕刻、CVD設(shè)備周邊及氣體管道閥門處部署,精準監(jiān)測微量泄漏,保障芯片良率與人員健康;

  • 光伏產(chǎn)業(yè):于硅片清洗車間、氣體鋼瓶柜附近安裝,防止因三氟化氮泄漏導(dǎo)致的工藝異常與環(huán)境風(fēng)險;

  • 氣體生產(chǎn)/儲運:在合成反應(yīng)釜、儲罐區(qū)及運輸管道關(guān)鍵節(jié)點設(shè)置,實時預(yù)警泄漏,避免爆炸、中毒等事故。


結(jié)語
在“雙碳"目標與工業(yè)安全升級的雙重驅(qū)動下,深國安SGA-501-NF3-SM-Q在線式三氟化氮氣體檢測儀以進口紅外科技為核心,以“精準、智能、可靠"的性能,成為電子特氣領(lǐng)域的“安全基石"。2025年,深國安持續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新賦能工業(yè)安全,用每一臺設(shè)備的穩(wěn)定運行,為全球制造業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展保駕護航。

深國安——讓氣體監(jiān)測更簡單,讓工業(yè)安全更可靠!


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