4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V 特性。作為高性能的參數分析儀,4200A-SCS 加快了半導體、材料和工藝開發速度。
產品簡介 |
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4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V 特性。作為高性能的參數分析儀,4200A-SCS 加快了半導體、材料和工藝開發速度。 |
主要性能指標 |
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MOSFET, BJT 晶體管 |
材料表征 |
非易失性存儲設備 |
電阻率系數和霍爾效應測量 |
NBTI/PBTI |
III-V 族器件 |
失效分析 |
納米器件 |
二極管和pn 聯結 |
太陽能電池 |
傳感器 |
MEMS 器件 |
電化學 |
LED 和OLED |
典型應用 |
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I-V 源測量單元 (SMU) |
● ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊 |
● 100 fA 測量分辨率 |
● 選配前端放大器提供了 10 aA 測量分辨率 |
● 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量 |
● 四象限操作 |
● 2 線或 4 線連接 |
C-V 多頻率電容單元 (CVU) |
● AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t) |
● 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍 |
● ± 30 V內置 DC 偏置源,可以擴展到 ± 210 V |
● 選配 CVIV 多通道開關,在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換 |
脈沖式 I-V 超快速脈沖測量單元 (PMU) |
● 兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道 |
● 200 MSa/s,5 ns 采樣率 |
● ±40 V (80 V p-p),±800 mA |
● 瞬態波形捕獲模式 |
● 任意波形發生器,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率 |
高壓脈沖發生器單元 (PGU) |
● 兩個高速脈沖電壓源通道 |
● ±40 V (80 V p-p),± 800 mA |
● 任意波形發生器,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率 |
I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV) |
● 在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換,無需重新布線或抬起探針 |
● 把 C-V 測量移動到任意端子,無需重新布線或抬起探針 |
● 支持 ±210 V DC 偏置源 |
遠程前端放大器 / 開關模塊 (RPM) |
● 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換 |
● 把 4225-PMU 的電流靈敏度擴展到數十皮安 |
● 降低電纜電容效應 |
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