4200-SCS是一款能進行器件、材料或過程電氣特性分析的模塊化全集成參數分析儀。利用9個測量槽和內置低噪聲接地單元,您可以根據測試要求或預算限制進行精密配置。
4200-SCS型半導體特性分析系統- 集成前沿的脈沖能力和精密DC測量,用于65nm節點及更小尺寸,容易使用的4200-SCS型半導體特性分析系統用于實驗室級的器件直流參數測試、實時繪圖與分析,具有高精度和亞f的分辨率。它提供了的系統集成能力,包括完整的嵌入式PC機,Windows操作系統與大容量存儲器。其自動記錄、點擊式接口加速并簡化了獲取數據的過程,這樣用戶可以更快地開始分析測試結果。其它一些特征使得應力測量功能能夠滿足各種可靠性測試的需求。 可選儀器:
* 4225-PMU超快I-V模塊
* 4220-PGU脈沖發生器單元(僅電壓源)
* 4225-RPM遠程放大器/開關
* 4200-SMU中等功率源測量單元
* 用于4200-SCS的4210-SMU高功率源測量單元
* 用于4200-SMU和4210-SMU的4200-PA遠程前置放大器選件
* 4200-SCP2雙通道示波器卡
* 4200-SCP2HR 200MS雙通道示波器卡
超快I-V應用套件:
* 4225-PMU超快I-V模塊
直觀的、點擊式Windows操作環境 - * 的遠端前置放大器,將SMU的分辨率擴展至 0.1fA
- * 用于高級半導體測試的新型脈沖與脈沖式I-V功能
- * 集成了示波與脈沖測量功能的新型示波卡
- * 內置PC提供快速的測試設置、強大的數據分析、制圖與打印、以及測試結果的大容量存儲
- * 的瀏覽器風格的軟件界面,根據器件的類型來安排測試,可以執行多項測試并提供測試序列與循環控制功能
- * 內置了Stress/Measure,循環和數據分析功能,通過鼠標點擊方式就可進行可靠性測試,包括5個JEDEC規范的樣品測試
- * 支持 Keithley590 型與 Agilent 4284/4294型C-V儀、Keithley開關矩陣與Agilent 81110脈沖發生器等多種外圍設備
- * 硬件由 Keithley交互式測試環境(KITE)來控制,用戶測試模塊功能,可用于外接儀表控制與測試平臺集成,是KITE功能的擴充
- * 包括驅動軟件,支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300,Micromanipulator 的8860自動和手動探針臺
- * 支持的半導體模型參數提取,包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso