型　　號

VideoCheck-IP

VideoCheck IP Basic

測量范圍

(X軸)

400～3500mm(可選)

400～3500mm(可選)

(Y軸)

400～1750mm(可選)

400～1750mm(可選)

(Z軸)

200/300/400/600mm

200～800mm(可選)

zui大允許測量誤差¹⁾

(E1單軸精度）

(0.50+L(mm)/500)µm

(0.95+L(mm)/500)µm

(E2平面精度）

(0.95+L(mm)/400)µm

(1.50+L(mm)/400)µm

(E3空間精度）

(1.50+L(mm)/300)µm

(1.80+L(mm)/300)µm

zui大允許測量誤差²⁾

(E1單軸精度）

(0.50+L(mm)/350)µm

(0.95+L(mm)/350)µm

(E2平面精度）

(0.95+L(mm)/350)µm

(1.50+L(mm)/350)µm

(E3空間精度）

(1.50+L(mm)/250)µm

(1.80+L(mm)/250)µm

分辨率

0.05µm

0.1µm

工作臺承重

150kg(300kg可選)

150kg(300kg可選)

定位速度

300mm/s

300mm/s

加速度

1m/s²

1m/s²

頻率

48-62Hz

48-62Hz

氣壓

7-10 bar

7-10 bar

功耗

2500VA

2500VA

儀器重量

1000-6000kg

1000-6000kg

精度保證環境條件¹⁾

20℃±1 ^o Δ=0.5 ^o/h

20℃±1 ^o Δ=0.5 ^o/h

精度保證環境條件²⁾

20℃±2 ^o Δ=1 ^o/ h

20℃±2 ^o Δ=1 ^o/h

精度檢定光學放大倍率

10X

10X

濕度

40-70rel.

40-70rel.

空氣指標

max.0.05mg/m³

max.0.05mg/m

適用溫度

10-35℃

10-35℃