開爾文探針（Kelvin Probe）是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用于測量導體材料的功函數（Work Function）或半導體、絕緣表面的表面勢（Surface Potential）。
材料表面的功函數通常由上層的1-3層原子或分子決定，所以開爾文探針是一種較靈敏的表面分析技術。
開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用于測量導體材料的功函數(Work Function)或半導體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。
材料表面的功函數通常由上層的1-3層原子或分子決定，所以開爾文探針是一種靈敏的表面分析技術。
我們的開爾文探針系統包括：
□單點開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境)；
□掃描開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境)；
□超高真空(UHV)開爾文探針；
□濕度控制的腐蝕開爾文探針；
掃描開爾文探針系統
ASKP系統是一款可以被大多數客戶所接收的掃描開爾文探針系統，它是在SKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數字示波鏡等配置，其規格如下：
□2毫米，50微米探針；
□功函數分辨率 1-3 meV(2毫米針尖)，5-10 meV(50微米針尖)；
□針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內；
□表面勢和樣品形貌3維地圖；
□探針掃描或樣品掃描選配；
□彩色相機、調焦鏡頭、TFT顯示器和專業的光學固定裝置；
□參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統的形貌)；
□備用的針尖放大器；
儀器的特色
□商用的*意義上的開爾文探針系統；
□高分辨率的功函數和表面勢，好的穩定性和數據重現性；
□非零技術(Off-null,ON) ——ON信號探測系統在高信號水平下工作，與基于零信號原(null-based,LIA)的系統相比，不會收到噪聲的影響擁有高靈敏度；
□高度調節技術 ——我們的儀器在測量和掃描時可以控制針尖的高度。因為功函數受 樣品形貌的影響，針尖與樣品表面距離的調節意味著數據的高重現性且不會漂移；
□該領域內，擁有好的信噪比；
□快速響應時間 ——測量速度在0.1-10秒間，遠快于其他公司產品；
□功能強的驅動器 ——選用Voice-coil(VC)驅動器，與通常的壓電驅動器相比，VC驅動器頻率要穩定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作；
□所有開爾文探針參數的全數字控制；
ON | 非零探測 Off Null detection |
HR | 高度調節模式 Height Regulation mode |
SM | 實際開爾文探針信號監控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal |
UC | 用戶通道，同時測量外部參數 User Channels, simultaneous measurement of external parameters |
DC | 電流探測系統去除漂移效應 Current Detection system rejects stray capacity effects |
PP | 平行板震動模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode |
SA | 信號平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) |
WA | 功函數平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting |
DC | 所有探針及探測參數的數字控制Digital Control of all Probe and Detection Parameters |
QT | 針尖快速改變 Quick-change Tip, variable spatial resolution |
DE | 數據輸出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software |
OC | 輸出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit |
FC | 法拉第籠(電磁干擾防護罩) Faraday Cage (EMI Shield) |
RS | 金-鋁參考樣品 Gold-Aluminium Reference Sample |
額外選配項 | |
SPV | 表面光伏電壓軟硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package |
RH | 相對濕度腔 Relative Humidity Chamber |
AC | 控制氣體進口的環境單元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet |
EDS | 外部數據示波鏡 External Digital Oscilloscope |
OPT | 彩色相機 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts |
ST | 針尖置換 Replacement Tips |
GCT | 鍍金的針尖替換 Gold Coated Replacement Tips |
XYZ | 25.4毫米手動3維控制臺 3-axis 25.4 mm Manual Stage |
應用領域
吸附，電池系統，生物學和生物技術，催化作用，電荷分析，涂層，腐蝕，沉積，偶極層形成，顯示技術，教育，光/熱散發，費米級掃描，燃料電池，離子化，MEMs，金屬，微電子，納米技術，Oleds，相轉變，感光染色，光伏譜學，高分子半導體，焦熱電，半導體，傳感器，皮膚，太陽能電池，表面污染，表面化學，表面光伏，表面勢，表面物理，薄膜，真空研究，功函數工程學；
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