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Lumetrics 厚度測量系統的測量原理是采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀。Lumetrics 厚度測量系統優勢
1.在線與離線同時測量；
2.不僅可以測量總厚度，還可以單獨測量每層厚度，zui多可以測試20層
3.測試速度快，穩定性好。
Lumetrics 厚度測量系統的測量原理是采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀。
應用領域：
1.光電子行業：
（1） 透鏡中心厚及膠合間隙測量
（2） 單件元件厚度控制（特別適用于紅外材料，測量厚度控制平行度）
（3） 平板玻璃厚度測試：浮法玻璃、液晶平板
2.薄膜行業：測量塑料薄膜的厚
3.醫療行業：測量滴液管、塑料管壁厚、直徑等
Lumetrics 厚度測量系統優勢
1.在線與離線同時測量；
2.不僅可以測量總厚度，還可以單獨測量每層厚度，zui多可以測試20層
3.測試速度快，穩定性好。
OptiGauge SLS™ | OptiGauge MLS™ | OptiGauge EMS™ | |
測量范圍 | 12μm to 5mm | 12µm to 12mm | 12µm to 50mm |
zui多可測量層數 | 1 | 20 | 20 |
精度 | ±0.1μm | ±0.1µm | ±0.1µm |
重復精度 | 0.1μm 1σ | 0.1µm 1σ | 0.1µm 1σ |
測量時間 | 50Hz | 50Hz Standard, 100Hz and 200Hz optional | 20Hz |
光源 | 1310nm SLED – 45 nm wide | 1310nm SLED – 45 nm wide | 1310nm SLED – 45 nm wide |
測量頭工作距離 | 25mm and 50m | 25mm and 50mm | 50mm & 15 |
光纖長度 | 3M standard, up to 1000M Maximum | 3M standard, up to 1000M Maximum | 3M standard, up to 1000M Maximum |
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