英國Nanobean NB5 電子束光刻機具有良好的穩定性，平均正常運行時間超過93%

英國Nanobean NB5 電子束光刻機

產品詳情

具有良好的穩定性，平均正常運行時間超過93%

規格:

束流電壓范圍為: 20kV - 100kV

光刻膠的特征尺寸: <8nm (光刻精度)

500um區域拼接/疊加誤差: 小于25nm

自動裝載5卡盤氣鎖系統
 

英國Nanobean NB5 電子束光刻機發展目標:

改進設計和組件以減少日常服務需求。                                                             

實現每年少于5%的機器故障停機時間。                                  

提高性能                                      

便于批量生產。                                       

NB5系統將為進一步發展高偏轉速度和進一步集成電子提供平臺。

主營產品Product Catalog:                                  

A.特殊光源-UV燈/曝光燈Specialty Lamp                                 

 紫外光清洗燈, UV固化燈, 曝光燈, 點光源燈, 殺菌消毒燈, 醫療燈,金鹵燈, 臭氧燈, 曬版燈, 鹵鎢燈, 紅外線燈, 特殊熒光燈等。

B.光源設備Lights Equipments               

 紫外光清洗機, UV固化機, 點光源機, 曝光機, 曬版機，水凈化機,環境/醫療殺菌消毒裝置，光化學反應裝置等。

C.UV儀器/耗材/配件

 UV能量表, UV照度計, UV光譜計, 麥拉, 水套, 離子罐, 曝光尺, 真空泵等。

D. 德國DIENER等離子清洗機, 德國OPTOSOL太陽能儀器