總體規(guī)格特點(diǎn):

  l 重量：30kg

  l 尺寸：450mm寬x400mm深x600mm高

  l 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì)，便于工程師長時(shí)間舒適的操作。

載臺(tái)（chuck）規(guī)格： 

  l 4英寸/6英寸載臺(tái)，直徑101.6mm/152.4mm，平整度：±3μm

  l 載臺(tái)采用真空吸附方式吸附樣品，小吸附樣品尺寸為5mmx5mm 

  l 載臺(tái)X-Y軸微調(diào)行程101.6mmX101.6mm，微調(diào)分辨率1μm

  l 載臺(tái)Z軸方向微調(diào)升降10mm，微調(diào)分辨率1μm

  l 載臺(tái)水平角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°，旋轉(zhuǎn)精度0.01°

  l 載臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，可作背電極使用。

針座臺(tái)面規(guī)格:

  l U型拋光不銹鋼臺(tái)面

  l 針座臺(tái)面平整度：±3μm

  l 可容納針座數(shù)量：4~6個(gè)。

顯微鏡操縱規(guī)格:

       l 配有擺臂調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y任意方向的快速移動(dòng)

  l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦旋鈕，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動(dòng)精度1μm。

應(yīng)用場景：

  l 直流IV/CV測(cè)試  

  l Pulse IV測(cè)試

  l 阻抗測(cè)試

  l 時(shí)域分析測(cè)試

  l 有源射頻測(cè)試

  l 無源射頻/微波測(cè)試。