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KOSAKA 臺階儀 | 薄膜測厚儀 | 微細形狀測定機ET4000系列

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產品概述:●高精度.安定性.機能性適合于FPD基板晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型

詳細信息 在線詢價

產品概述:
● 高精度.安定性.機能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
● 是多機能的全自動微細形狀測定機,針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實現2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
● ET4000L一對應大型工件的全自動微細形狀測定機。
● ET4300一適合12"樣品測量。
● 各機型詳細參數請與區域銷售聯系。

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

臺階儀/膜厚儀ET4000系列產品參數

試片尺寸 210×210mm~300×400mm
重現性 1σ 0.5nm以內
測定范圍 Z:100um X:100~305mm (Y移動量:150~400mm)
分解能 Z:0.1nm X:0.1um
測定力

0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)

 

臺階儀可以應用在半導體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導體,OLED,生物醫藥,PCB封裝等領域的薄膜厚度,臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應力(曲定量率半徑法)等定量測量方面。其高精度,高重復性,自動探索樣品表面

 


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